服务信息
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1.分辨率：高真空模式3.0nm at 30kV, 8.0nm at 3kV；低真空模式3.0nm at 30kV, 10.0nm at 3kV；环境真空模式3.0nm at 30kV；背散射电子像4.0nm at 30kV。
2.样品室压力最高达2600Pa。
3.加速电压200V～30kV，可连续调节。
4.样品台移动范围：X=Y=100mm。
5.冷台操作：温度检测精度0.5℃；操作温度范围为：-5℃～60℃。
6. OXFORD能谱能量分辨率129eV，成分范围Be4~U92。 -
主要应用于断面、微区成分和显微结构形貌等分析。
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微区结构和形貌分析
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仪器设备采用专人管理制度；使用前须向管理人员提前预约；严格按照规定的操作程序进行仪器使用。
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根据实验服务项目的技术要求难易度，采取不同的收费标准。
联系方式
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