1 光学系统
1.1 光源：自动控制，钨丝阴极，预对中灯丝。
1.2 聚焦：具有手动及自动聚焦功能。
1.3 分辨率 ：8.0nm @30KV SE
1.4 放大倍数：20x - 100,000x
1.5 加速电压：1kv - 30kv（1/3/5/10/15/20/30kV）
1.6 磁透镜系统：聚光镜+物镜
物镜光阑： 4位可移动，摇摆对中
扫描光栅电位移及旋转： +/-50um ，0-360°
2 样品室系统
2.1 样品室：6个接口，可接配内外置EDS。
2.2 样品台：X=35mm（马达驱动）， Y= 35mm（马达驱动），T=0-45°（马达驱动）， R=360°，Z=0-50mm
2.3 样品尺寸(最大)：直径60mm， 高度45mm
3 真空系统
全自动 (真空时间: 小于2分钟)
前级真空：旋片式机械泵
高真空：涡轮分子泵真空系统

扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。

非磁性、非液态材料试样表面形貌的观察。

如需使用请至少提前一周电话联系，许可后网上预约，电话咨询时间为周一至周五上午9:00-12:00，下午2:30-5:30

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