分辨率：1.0nm@30kV STEM
1.0nm @15 kV
1.8nm @1kV
放大倍数：10-1,000,000×
加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
探针电流： 3pA～20nA（100nA选配） 稳定性优于 0.2%/h
低真空范围： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）
样品室： 365 mm（φ），275mm（h）
样品台：5轴优中心全自动
X=125mm
Y=125 mm
Z=50 mm
T=-10º-90º
R=360º 连续
系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
存储分辨率：32k x 24k pixels

金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等 检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分 析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶 粒取向测量。

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