服务信息
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4.1分辨率：3nm；
4.2放大倍数：×6~100万倍；
4.3最大加速电压：30kV；
4.4环境真空：最大至2600Pa
4.5样品移动距离：150mmx150mmx65mm；
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5.1高、低真空及环境真空下的样品微观形貌观察，包括二次电子形貌像（SEI）及背散射电子形貌像（BEI）；
5.2微区化学成分分析，包括进行各元素的点、线、面分析。
5.3适用于各种固体材料的表面微观形貌表征、组织和缺陷等分析，可用于各种材料、部件、系统的失效分析及研究工作
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各种固体材料的微观测试，如微观形貌观察，微区成分测定，可对不导电样品直接进行观察
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1. 在完成本单位科研任务的同时，允许外单位和个人共享使用。 2. 外单位或个人，需在使用仪器设备前，按照上述联系方式进行联系，提出预约申请，确定使用时间与要求等情况，以便提前做好准备，保证按时使用。 3. 用户应遵守仪器设备的操作规程和有关规定，服从操作人员的管理和指导，注意维护实验室的环境卫生与秩序。 4. 大型仪器设备共享使用费由设备所在科室按照审定的收费标准和实际使用情况出具收费通知书，由本单位财务部门负责收取并开具统一的收费凭证。17、请提前一天预约
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