I-V 源测量单元(SMU)
电压范围：±100 V；电流范围：±100 mA；电流测量分辨率：10fA；电压测量分辨率：0.5uV；可实现准静态电容测量；
C-V 多频率电容单元(MFCMU)：
AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)；频率范围：1 KHz~5 MHz；频率分辨率：1mHz；交流信号电压范围：10mVrms~250mVrms； 偏置电压范围：±25 V，可以扩展到± 100 V；

用于测试低维半导体器件，包括TFT、CMOS、LED、探测器、电池等器件的低频电学特性

半导体电性能测量

在满足校内教学科研工作的基础上，对外实行共享，网上预约，并且提前电话联系，说明相关的技术指标和注意事项

200元/小时