1、 XY双向程序控制扫描平台扫描范围：200mm，扫描速度最大20mm/s（x,y），XY双向扫描平台扫描最小分辨率2μm，最大扫描速度20mm/sec；
2、 曲率半径分辨率优于50km，平均曲率分辨率优于2×10-5 (1/m)；
3、 薄膜应力测量范围：5×104Pa to 4×109Pa；
4、 测量重复性：优于0.1%；
5、 平均曲率重复性：<2×10-5 1/m；
6、 测量精度：优于±0.1%或0.1MPa；
7、 程序化控制扫描模式：选定区域单线扫描、选定区域多点线性扫描、全面积扫描；
8、 样品表面全面积或选定区域Mapping功能：YX方向独立2D曲率Mapping成像，XY方向独立2D应力Mapping成像，整体定量薄膜应力成像分析；
9、 测量功能：曲率、曲率半径、应力和翘曲等；

离线工作方式的薄膜应力测试仪采用非接触MOS激光技术；不但可以精确的对样品表面应力分布进行统计分析，而且还可以进行样品表面二维应力、曲率成像分析；并且这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一频率运动或扫描，从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响；同时大大提高了测试的分辨率；适合各种材质和厚度薄膜应力分析。

本设备服务内容为测试光学薄膜本身具有的应力以及应力梯度分布。

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