3.1 控制器：
*3.1.1 单条扫描线的采样点不少于 16000 点。方形扫描区域最大采样点不少于 5120 x5120 点。
3.1.2 具有 数字化品质因子控制 功能，提高信噪比，可提高 10倍 或降低 10倍。
*3.2 扫描器：
3.2.1 扫描器：要求具备探针扫描的扫描器，扫描过程中样品为完全静止状态。XY方向最大扫描范围不小于90微米；Z方向最大扫描范围不小于9微米；
3.2.2 XY 方向的闭环噪音水平：<0.15nm RMS 值
3.2.3 Z 方向的闭环噪音水平: <0.035nm RMS 值
3.2.4 XY 方向的开环噪音水平: <0.10nm RMS 值
3.2.5 Z 方向的开环噪音水平：<0.03nm RMS 值

可以对材料的纳米结构、性能进行表征，对材料的电学性能、力学性进行表征，可在 溶液环境下对生物样品进行表征。

对材料的纳米结构、性能进行表征，对材料的电学性能、力学性进行表征，可在 溶液环境下对生物样品进行表征。

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